技術(shù)文章
Technical articles干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置,專為要求更加潔凈、無油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。它通常由兩個核心部分組成:干式前級機(jī)械泵泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤滑,從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈,消除碳?xì)浠衔镂廴撅L(fēng)險。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造, 晶圓廠的核心工藝設(shè)備(刻蝕機(jī)、CVD、PVD、ALD、離子注入機(jī));高1端光學(xué)鍍膜: 激光反射鏡、天文望遠(yuǎn)鏡鏡片、光刻鏡頭鍍膜;表面科學(xué)與分析;
掃描/透射電子顯微鏡 (SEM/TEM) 樣品室和電子槍等要求嚴(yán)苛的科研與材料開發(fā)。
雖然初始成本高昂,但其潔凈度、卓1越的真空性能、極低的維護(hù)需求和長壽命,使其在半導(dǎo)體、尖1端科研和分析儀器等對真空環(huán)境要求近乎苛刻的領(lǐng)域成為不可替代的標(biāo)準(zhǔn)配置。