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      混合氣體配比氣體混配器流量流量配比

      產品簡介

      混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可將多種氣體安一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過精密的質量流量計來控制,流量計和混氣罐都安裝在一個移動柜內。此系列設備可用于搭建CVD系統,也可為樣品退火提供所需的氣氛環境.

      產品型號:
      更新時間:2024-03-29
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1987
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      品牌其他品牌應用領域電子/電池

      簡介

          混合氣體配比氣體混配器流量流量配比主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環境.

          該 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可以外接3種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

       

      用途

      1.半導體制造行業中氣體流量控制

      2.各種真空鍍膜設備

      3.特種材料表面處理

      4.氣體燃燒控制

      5.混和配氣系統

      6.泄漏探測系統

      7.環境檢測與分析設備

      8.分析儀器的氣體流量計量與控制

      9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所

       

       

       

      技術參數

       

      產品型號

      KT-C3Z

      產品類型

      智能控制 觸摸屏控制

      流量量程

      2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,

      1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

      流量控制方式

      觸摸屏設定流量

      時間設定

      0-99999

      數據導出

      程序控制

      無 (可根據要求寫程序)

      壓力顯示

      無  (可根據需求添加)

      耐壓

      3MPa

      密封材料

      金屬密封 Metal

      輸入輸出信號

      (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,

      電源

      ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

      閥類型

      常開或常閉

      溫度系數

      Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

      零點飄移指標

      <0.6%F.S. per year without autozero

      電氣連接

      Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

      工作壓差范圍

      (0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm)

      漏率

      1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He)

      標準接頭形式

      雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

      表面化學成分

      CrO thickness >20 Angstroms

      表面粗糙度

      20µinch

      抗電磁干擾

      CE

      重量

      16KG

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