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      小型新款磁控濺射儀

      產品簡介

      KT-Z1650PVD是一款小型新款磁控濺射儀小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

      產品型號:
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:2624
      詳細介紹在線留言
      品牌鄭科探價格區間面議
      產地類別國產應用領域電子/電池

          KT-Z1650PVD是一款小型新款磁控濺射儀小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。



      針對市場上其它型號我們做如下改進

      1 腔體擴充口可增加擴展口  大可擴展KF40接口方便連接分子泵 或 晶控傳感器

      2 樣品可旋轉 大轉速20轉每分鐘 使鍍膜樣品更均勻

      3 輕旋轉機械手柄 樣品高度可精細調節 樣品距離靶材距離可到1mm

      4 電動擋板 使用人機界面程序控制打開或者關閉時間

      5 可通過人機界面手動或者使用編程自動控制預濺射(洗靶) 恒定功率輸出  變換功率輸出 定時打開擋板(時間單位 秒)關閉擋板 樣品轉速  工藝可存儲  工藝名稱可改 利如 噴金20納米厚

      6 腔體上蓋鉸鏈安裝 更換靶材方便操作

      7 此產品已申請多項技術 抄襲請慎重!!!

      小型新款磁控濺射儀技術參數:

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      大功率

      ≤1000W

      大輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      極限真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (大可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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