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      產(chǎn)品中心

      Product Center

      當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-1650PVD小型離子濺射儀

      小型離子濺射儀

      產(chǎn)品簡介

      小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。

      產(chǎn)品型號:KT-1650PVD
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
      訪問量:1718
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      品牌鄭科探應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池


            鄭科探小型離子濺射儀KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。

         小型離子濺射儀通過定時調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。


      控制方式


      7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      最大功率

      ≤1000W

      最大輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      極限真空

      機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤10Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

      樣品臺轉(zhuǎn)速

      8轉(zhuǎn)/分鐘

      樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預(yù)留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口




                                                                                                                                                                                                                                














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