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      當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-1650PVD鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀

      鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀

      產品簡介

      鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。

      產品型號:KT-1650PVD
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1647
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      品牌鄭科探樣品臺尺寸氬氣mm
      控制方式觸摸屏智能控制樣品倉尺寸50mm
      靶材尺寸50mm靶材材質金 鉑 銅 銀
      價格區間面議產地類別國產
      應用領域電子/電池

          鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。

            鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

      設備名稱

      小型濺射儀

      小型蒸鍍儀

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      工作電源

      直流濺射電源

      直流熱蒸發電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      ≤1500W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      電壓≤12V  電流≤100A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      腔體真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      石英腔體φ160mm x 160mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      70-140mm

      蒸發坩堝容積

      3ML

      蒸發溫度調節

      ≤1600℃

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口

      可選配擴展

      1 膜厚在線測試    2 分子泵


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