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      氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺

      產品簡介

      氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺 探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

      產品型號:
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1740
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      品牌鄭科探

              氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本

            氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測。


      技術參數

      腔體材質

      304不銹鋼

      上蓋開啟

      鉸鏈側開

      內腔體尺寸

      φ140x180

      加熱臺材質

      304不銹鋼

      觀察窗尺寸

      φ75

      加熱臺尺寸

      50x50

      加熱臺溫度

      室溫-350℃可調

      加熱臺溫控誤差

      ±1

      真空度

      機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

      真空抽氣口

      KF25

      氣體進氣口

      3mm-6mm卡套接頭

      進氣閥門

      高精密針閥

      抽氣閥門

      KF25真空擋板閥

      壓力表

      機械壓力表 -0.1-0.15mpa

      信號電極

      4

      探針數量

      4

      探針材質

      φ1.5鎢針   其他材質可選

      探針移動平臺

      X軸移動行程

      30mm    ±15mm

      X軸控制精度

      ≤0.1MM

      Y軸移動行程

      13MM    ±6.5mm

      Y軸控制精度

      ≤0.05MM

      Z軸移動行程

      13mm   ±6.5mm

      Z軸控制精度

      ≤0.05MM

      信號電極

      電極芯

      1

      電極引出接頭

      BNC母頭

      電極引出線

      銅網信號屏蔽線

      BNC引出接頭

      X4

      額定電流

      ≤5A

      額定電壓

      ≤220V

      電極芯直徑

      φ1mm

      接觸電阻

      ≤5MΩ

      絕緣電阻

      ≥1000 MΩ

      外殼接地

      電子顯微鏡

      電子顯微鏡根據客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通


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