硅基叉指電極微型探針臺

硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T  

電化學傳感器通過與被測目標分析物發生反應，并產生與目標分析物濃度成比例的電信號來工作。典型的電化學傳感器由傳感電極和反電極組成，并有一個薄電解層隔開。在環境監測中，可以在電化學傳感器的電極之間生長可與目標分析物發生反應并發生阻值變化的捕獲物，通過檢測捕獲物的電阻值變化，實現檢測環境中大部分有毒有害生物化學物質的目的。電化學傳感器通常具有操作簡單、儀器成本低等特點。除此之外，電化學傳感器可以與各種的微機電系統制造技術聯用，從而實現大規模的批量生產，并且可以實現小型化從而降低成本。
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叉指電極結構
        微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結構，它被廣泛的應用于非破壞性測試、電子通訊、化學測試等多個領域。 一般來說，不同的應用領域對于叉指電極的形狀、幾何學尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統集成以及數據的分析都有不同的要求，因此對于不同的領域我們應該區分對待。如圖所示，列出了幾種常見的叉指電極結構，基本的結構有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據環境監測的具體要求，針對叉指電極的結構形狀進行分析說明和終的結構選擇，確定具體的設計參數根據微弱信號檢測的相關原理，在低頻信號測量時，電阻值越高，其相應的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號的提取和檢測[1]。所以，可以通過減少敏感膜電阻值的方法，實現對氣體敏感傳感器的信號噪聲比的提高，從而減小噪聲對測量信號的干擾。根據電阻的計算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長比。但是，敏感膜的厚度太大會降低氣體敏感傳感器的響應時間。因此，綜合考慮到響應時間和信噪比，需要設計優化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長寬比。

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