<em id="kf52g"><noframes id="kf52g">
      <dd id="kf52g"><dfn id="kf52g"></dfn></dd>
      <em id="kf52g"></em>

      <dl id="kf52g"></dl>

      產品中心

      Product Center

      當前位置:首頁產品中心實驗室氣體配比器質量流量計KT-C4ZSDS300質量流量控制器氣體配比器

      DS300質量流量控制器氣體配比器

      產品簡介

      DS300質量流量控制器氣體配比器 DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

      產品型號:KT-C4ZS
      更新時間:2024-03-29
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1739
      詳細介紹在線留言
      品牌鄭科探價格區間面議
      產品種類其他介質分類氣體
      產地類別國產應用領域化工,電子/電池

      DS300質量流量控制器氣體配比器

      637594505791930408936.jpg

      DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

      DS300質量流量控制器氣體配比器

      • 控制精度高,精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
      • 響應速度快,響應時間≤ 0.5sec。
      • 采用基于壓力原理的流量傳感器技術,使產品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動。
      • DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實現孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理,*符合SEMI標準要求。

      637214299187891898185.jpg

      技術參數

      DS300C

      類型

      DS300C

      閥類型

      常閉

      流量規格(N2)

      (0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
      (0~1,2,3,5,10)            SLM

      準確度

      ±1% S.P. (≥10% F.S.)       
      ±1% F.S. (<10% F.S.)       

      線性

      ±0.5% F.S.

      重復精度

      ±0.2% F.S.

      響應時間

      ≤ 0.5sec            

      進口壓力

      240~450KPa 流量規格≤5SLM
      350~450KPa  流量規格>5SLM

      出口壓力

      ≤1.2KPa    流量規格≤5SLM
      ≤13.3KPa  流量規格>5SLM

      溫度系數

      零點:≤±0.02% F.S./℃;
      調節時:≤±0.1% F.S./℃

      耐壓

      3 MPa

      漏率

      1×10-11 Pa·m3 / sec He

      密封材料

      金屬密封

      最大工作壓力

      0.45MPa

      工作環境溫度

      (10~45)℃

      輸入信號

      數字:RS485 或 DeviceNet
      模擬:(0~5)VDC

      輸出信號

      數字:RS485 或 DeviceNet  
      模擬:(0~5)VDC

      零漂

      在沒有零點校正時<0.6%F.S./年

      電源

      ±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

      表面化學成分

      Cr/Fe比例≥2.0;
      CrO 厚度≥20 (埃)

      表面粗糙度

      Ra  5μinch

      標準接頭形式

      VCR1/4陽接頭;
      1.125″C型密封接頭;
      1.125″W型密封接頭;
      Compression Fittingφ6

      電源接頭形式

      D型9針陽接頭;
      D型15針陽接頭;
      DeviceNet接頭

      重量

      1.2Kg

       


      在線留言

      留言框

      • 產品:

      • 您的單位:

      • 您的姓名:

      • 聯系電話:

      • 常用郵箱:

      • 省份:

      • 詳細地址:

      • 補充說明:

      • 驗證碼:

        請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
      欧美精品福利视频一区二区三区久久久精品| 99久久这里只有精品| 久久本道久久综合伊人| 久久一区二区三区免费| 77777亚洲午夜久久多人| 国产精品一区二区久久国产| 久久久久国产| 亚洲AV日韩精品久久久久久久| 久久精品人人做人人爽97 | 国产综合免费精品久久久| 99久久综合国产精品二区| 久久久久久久久66精品片| 久久国产精品无码一区二区三区| 久久久国产精品| 国产欧美久久一区二区| 一本大道久久香蕉成人网| 国产成人综合久久综合| 狠狠精品久久久无码中文字幕| 久久精品成人免费网站| 囯产极品美女高潮无套久久久| 国产综合免费精品久久久| 久久不射电影网| 久久综合精品国产二区无码| 亚洲一级Av无码毛片久久精品| 国产精品一久久香蕉国产线看| 一本一道久久综合狠狠老| 亚洲美日韩Av中文字幕无码久久久妻妇 | 久久国产视频网| 国产成人久久精品麻豆一区| WWW婷婷AV久久久影片| 狼狼综合久久久久综合网| 精产国品久久一二三产区区别| 久久强奷乱码老熟女网站| 中文精品久久久久国产网址| 色诱久久久久综合网ywww| 久久人人爽人人爽人人片AV东京热| 久久国产香蕉视频| 青青久久精品国产免费看| 精品久久久久久久中文字幕| 久久久精品人妻无码专区不卡| 精品久久综合1区2区3区激情|