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      當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD桌面式濺射儀

      桌面式濺射儀

      產品簡介

      桌面式濺射儀KT-Z1650PVD是一款高度集成化智能化的臺式磁控濺射系統。體積小巧,但是功能出色、配置齊全。配有水冷靶,自動樣品擋板,可調節濺射源距離,觸摸屏控制,工藝儲存等功能,方便快捷。

      產品型號:KT-Z1650PVD
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1605
      詳細介紹在線留言
      品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
      樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
      樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
      靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
      產地類別國產應用領域化工,電氣

      桌面式濺射儀KT-Z1650PVD水冷式濺射源,可實現高功率持續運行,有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。

           電子電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛倫茲力的影響,被束縛在靠近靶面的等離子體區域內,該區域內等離子體密度很高,二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動,該電子的運動路徑很長。


      微信圖片_20220525093925.png

      桌面式濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口




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