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      當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD水冷型濺射儀

      水冷型濺射儀

      產品簡介

      水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,桌面式小型濺射儀,內配自動電動擋板,可保護樣品或清洗靶材。

      產品型號:KT-Z1650PVD
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1870
      詳細介紹在線留言
      品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
      樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
      樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
      靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
      產地類別國產應用領域綜合

      水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動濺射鍍膜機,使用非常簡單。由于*的插件概念,該設備很容易配置濺射或蒸發,只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。

      高度調節和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉階段或旋轉行星階段,每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監測都作為標準。.
      •高性能濺射、碳涂層和等離子處理
      •獲得的碳線軸–最多50個碳涂層,無需用戶干預
      •*的即插即用濺射和碳涂層模塊
      •真空性能和快速泵送時間

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      水冷型濺射儀技術參數;

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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