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      當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD桌面小型離子濺射儀

      桌面小型離子濺射儀

      產品簡介

      桌面小型離子濺射儀本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導電膜),儀器操作簡單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器

      產品型號:KT-Z1650PVD
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:1589
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      品牌鄭科探濺射氣體氬氣
      樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏
      樣品倉尺寸160x170mm靶材尺寸φ50mm
      價格區間面議產地類別國產
      應用領域綜合

      桌面小型離子濺射儀

      離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統,對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。


      離子濺射儀在掃描電鏡(SEM)的樣品噴金方便為專用的儀器,樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供,使恒沉積速率得到確保,使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少,使掃描電鏡觀測結果得到了較為顯著的提高。



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      桌面小型離子濺射儀技術參數;

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口







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