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      半導體真空磁控濺射儀器

      產品簡介

      半導體真空磁控濺射儀器鄭州科探KT-Z1650PVD,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。

      產品型號:KT-Z1650PVD
      更新時間:2024-03-27
      廠商性質:生產廠家
      訪問量:2754
      詳細介紹在線留言
      品牌鄭科探產地類別國產
      應用領域環保,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天

      鄭州科探儀器設備是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發新設計以滿足客戶的特殊要求。

         鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

      儀器描述:

      半導體真空磁控濺射儀器,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。


          產品特點:

          彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速

          • 通過觸摸屏中直觀檢測數據和曲線;歷史頁面可顯示歷史涂層信息。

          • 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構

          • 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射

      • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

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      半導體真空磁控濺射儀器技術參數;

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口










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