混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可將多種氣體安一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過精密的質(zhì)量流量計來控制，流量計和混氣罐都安裝在一個移動柜內(nèi)。此系列設(shè)備可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境.

手動氣體流量配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

多通道氣體配比器 氣體混合器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏

該多路氣體配比器 三進(jìn)一出可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

氣液體混合配比器 氮氣標(biāo)定流量計主要用于氣體液體混合配比,液體加熱產(chǎn)生氣體并用其他氣體做載氣,為等離子沉積cvd沉積或其他特定設(shè)備提供氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加